三氟甲烷（電子級）
電子級三氯甲烷（CHF3），純度99.999%，別名氟仿。無色、無臭、不可燃?xì)怏w、與可燃性氣體 燃燒時分解產(chǎn)生有毒氟化物液體，微電子行業(yè)廣泛應(yīng)用的等離子刻蝕氣體之一，特別是對二氧化硅膜的刻蝕。還用于低溫混合制冷劑，有機(jī)合成中間體，紅外檢測器直接冷卻劑等.
所屬分類：
高純氣體
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